特性

• 六种不同的应用程序设置指南帮助您正确配置您的仪器，以获得最佳性能，确保参数设置正确，以进行彻底和有效的测试。
• 更大，更耐用，更响应的触摸屏界面旋转180°，以理想观看。
• 清洁，更直观的用户界面。立即访问通常使用的功能和平面菜单结构允许您快速查找所需的设置。
• 启动向导帮助用户在第一次通电时设置仪器。
• 增强的制图功能:放大数据，颜色编码的设置点，基于时间的绘图记录泄漏率和压力。
• 大型工作面积为要测试，工具等的零件提供了大量的空间。
• 改进的断电过程保持真空下的光谱仪，并保护涡轮分子泵。
• 改进的可操作性，更容易进入半导体晶圆厂或其他生产环境中的狭窄服务区域和追逐。
• 干式真空泵消除了测试部件和系统的油污染的风险。